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G100/G150/G200 立式激光平面干涉儀
立式激光平面干涉儀為正立式結構,通光口徑有200mm,150mm和100mm三種,正立式結構兼容了平面元件的平放測量、拼盤測量和高精度測量。立式結構比臥式測量效率更高。
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